Large aperture phase shifting laser interferometer
The laser interferometer uses phase shift technology to accurately characterize the three-dimensional morphology of the measured surface, with a measurement accuracy of Pv up to 0.06 μ M is even higher and widely used for high-precision detection of planar optical components.
Applications
Widely used for high-precision detection of planar optical components.
Features
--Accurately measure the transmitted and reflected wavefronts of large aperture optical components.
--The measurement accuracy and repeatability are comparable to the American Zygo and 4D interferometers.
--Customized development according to customer requirements.
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主要技术指标
技术参数产品系列
测量方式
测量口径
移相方式
主机波长
透射平面参考镜面形误 差(PV)
反射平面参考镜面形误
差(PV)
空腔精度(PV)
面形误差测量重复性 主相机分辨率
主相机调焦能力
测量高平行度光学元件
透、反射波前
工作温度要求 工作温度波动要求
工作湿度要求
隔震要求
工作电压
Φ300 移相数字化干涉仪
菲索干涉原理
300mm
波长移相
632.8nm
≤ λ/10，λ=632.8nm
≤ λ/10，λ=632.8nm
≤ λ/10，λ=632.8nm
≤ 1nm (2δ)
2048*2048
有
支持
22℃ ±1℃
每小时变化小于 1℃
55%±10%RH
气浮平台，固有频率：1-2Hz
220V
Φ600 移相数字化干涉仪
菲索干涉原理
600mm
偏振移相或波长移相
660nm 或 632.8nm
≤ λ/10，λ=632.8nm ≤ λ/10，λ=632.8nm ≤ λ/10，λ=632.8nm
≤ 1nm (2δ)
2048*2048
有
支持
22℃ ±1℃
每小时变化小于 1℃
55%±10%RH
气浮平台，固有频率：1-2Hz
220V
Φ800 移相数字化干涉仪
菲索干涉原理
800mm
偏振移相或波长移相
660nm 或 632.8nm
≤ λ/10，λ=632.8nm
≤ λ/10，λ=632.8nm
≤ λ/10，λ=632.8nm
≤ 1nm (2δ)
2048*2048
有
支持
22℃ ±1℃
每小时变化小于 1℃
55%±10%RH
气浮平台，固有频率：1-2Hz
220V
